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发明名称 method for fabricating contact plug of semiconductor device
摘要
申请公布号 KR101068142(B1) 申请公布日期 2011.09.27
申请号 KR20040051062 申请日期 2004.07.01
申请人 发明人
分类号 H01L21/283;H01L21/28;H01L21/304 主分类号 H01L21/283
代理机构 代理人
主权项
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