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发明名称 Method for Manufacturing Capacitor of Semiconductor Device
摘要
申请公布号 KR101067859(B1) 申请公布日期 2011.09.27
申请号 KR20090000275 申请日期 2009.01.05
申请人 发明人
分类号 H01L27/108;H01L21/8242 主分类号 H01L27/108
代理机构 代理人
主权项
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