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经营范围
发明名称
SEMICONDUCTOR MICRO PROCESS SYSTEM
摘要
申请公布号
KR20110105068(A)
申请公布日期
2011.09.26
申请号
KR20100024105
申请日期
2010.03.18
申请人
AONEMICRO, INC.
发明人
KIM, JOUNG SU
分类号
H01L21/02
主分类号
H01L21/02
代理机构
代理人
主权项
地址
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