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Procédé de caractérisation d'un échantillon cristallin (E) caractérise en ce qu'il comporte les étapes consistant à : a. diriger un faisceau (FI) sensiblement monoénergétique de projectiles choisis parmi des atomes et des ions sur une surface dite supérieure dudit échantillon, la direction de propagation dudit faisceau étant caractérisé par un angle d'incidence (θi) et par un angle dit azimutal (φ) mesuré dans le plan de ladite surface, l'énergie desdits projectiles étant supérieure ou égale à 50 keV ; b. détecter les projectiles diffusés par l'échantillon avec une énergie déterminée et mesurer leur angle de diffusion (θd), défini dans un plan perpendiculaire à ladite surface supérieure de l'échantillon ; c. répéter les étapes a. et b. pour une pluralité de valeurs différentes dudit angle azimutal ; et d. construire une image représentative d'un nombre de projectiles détectés en fonction de l'angle de diffusion et dudit angle azimutal. Produit programme d'ordinateur spécifiquement adapté pour la mise enœuvre d'un tel procédé.
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