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发明名称 PROCEDE DE REALISATION D'UNE GRILLE FLOTTANTE AYANT UNE ALTERNANCE DE LIGNES EN PREMIER ET SECOND MATERIAUX
摘要
申请公布号 FR2927467(B1) 申请公布日期 2011.09.23
申请号 FR20080000665 申请日期 2008.02.08
申请人 COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE;CENTRE NATIONAL DE LA RECHERCHE SCIENTIFIQUE CNRS;UNIVERSITE JOSEPH FOURIER 发明人 MOLAS GABRIEL;AISSOU KARIM;BARON THIERRY
分类号 H01L21/336;H01L29/788;H01L51/30 主分类号 H01L21/336
代理机构 代理人
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