发明名称 SYSTEM FOR INTRODUCING OR APPLYING STRUCTURES ONTO A SUBSTRATE
摘要 <p>Eine Anlage zum Ein- oder Aufbringen von Strukturen auf ein Substrat (1), wobei die Anlage mindestens zwei Strukturierungsmodule (10, 12, 14, 16, 18, 20) aufweist, die jeweils mindestens ein Strukturierungswerkzeug aufweisen, wobei die Strukturierungswerkzeuge benachbarter Strukturierungsmodule (10, 12, 14, 16, 18, 20) aneinandergrenzende oder sich überlappende Arbeitsbereiche (10a, 12a, 14a, 16a, 18a, 20a) auf dem zu strukturierenden Substrat (1) aufweisen und jeweils eine von einem Strukturierungsmodul (10, 12, 14, 16, 18, 20) erzeugte Struktur (2, 4, 6, 8) von dem mindestens zweiten Strukturierungsmodul (10, 12, 14, 16, 18, 20) unterbrechungsfrei weiterführend ausbildbar ist.</p>
申请公布号 WO2011113527(A1) 申请公布日期 2011.09.22
申请号 WO2011EP00961 申请日期 2011.02.28
申请人 MANZ AUTOMATION AG;MANZ, DIETER;KUHN, CLAUS;SINGER, GEORG 发明人 MANZ, DIETER;KUHN, CLAUS;SINGER, GEORG
分类号 H01L31/18 主分类号 H01L31/18
代理机构 代理人
主权项
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