摘要 |
<p>Eine Anlage zum Ein- oder Aufbringen von Strukturen auf ein Substrat (1), wobei die Anlage mindestens zwei Strukturierungsmodule (10, 12, 14, 16, 18, 20) aufweist, die jeweils mindestens ein Strukturierungswerkzeug aufweisen, wobei die Strukturierungswerkzeuge benachbarter Strukturierungsmodule (10, 12, 14, 16, 18, 20) aneinandergrenzende oder sich überlappende Arbeitsbereiche (10a, 12a, 14a, 16a, 18a, 20a) auf dem zu strukturierenden Substrat (1) aufweisen und jeweils eine von einem Strukturierungsmodul (10, 12, 14, 16, 18, 20) erzeugte Struktur (2, 4, 6, 8) von dem mindestens zweiten Strukturierungsmodul (10, 12, 14, 16, 18, 20) unterbrechungsfrei weiterführend ausbildbar ist.</p> |
申请人 |
MANZ AUTOMATION AG;MANZ, DIETER;KUHN, CLAUS;SINGER, GEORG |
发明人 |
MANZ, DIETER;KUHN, CLAUS;SINGER, GEORG |