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Ein kombiniertes Inspektionssystem zum Inspizieren eines in einer Objektebene 19 anordenbaren Objekts umfasst ein teilchenoptisches System, welches einen teilchenoptischen Strahlengang 3 bereitstellt, ein lichtoptisches System, welches einen lichtoptischen Strahlengang 5 bereitstellt; und eine Steuerung 60, wobei das lichtoptische System wenigstens eine in dem lichtoptischen Strahlengang angeordnete lichtoptische Linse 30 umfasst, die eine der Objektebene zugewandte erste Linsenfläche, die zwei Linsenflächen 34, 35 und ein Durchgangsloch 32 aufweist, wobei das teilchenoptische System eine Strahlablenkeinrichtung 23 umfasst, um einen Primär-Teilchenstrahl 15 über einen Teil der Probenebene 19 zu scannen, und wobei die Steuerung dazu konfiguriert ist, die Strahlablenkeinrichtung 23 so anzusteuern, dass ein ausgelenkter Primär-Teilchenstrahl 15 eine optische Achse 3 des teilchenoptischen Strahlengangs in einer Ebene schneidet, welche innerhalb des Durchgangslochs angeordnet ist.
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