发明名称 INDIUM OXIDE SINTERED COMPACT AND SPUTTERING TARGET
摘要
申请公布号 KR20110104496(A) 申请公布日期 2011.09.22
申请号 KR20117013692 申请日期 2009.06.01
申请人 IDEMITSU KOSAN CO., LTD. 发明人 INOUE KAZUYOSHI;UTSUNO FUTOSHI;KAWASHIMA HIROKAZU;YANO KOKI;TOMAI SHIGEKAZU;KASAMI MASASHI;TERAI KOTA
分类号 C04B35/622;C04B35/64;C23C14/34 主分类号 C04B35/622
代理机构 代理人
主权项
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