发明名称 |
INDIUM OXIDE SINTERED COMPACT AND SPUTTERING TARGET |
摘要 |
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申请公布号 |
KR20110104496(A) |
申请公布日期 |
2011.09.22 |
申请号 |
KR20117013692 |
申请日期 |
2009.06.01 |
申请人 |
IDEMITSU KOSAN CO., LTD. |
发明人 |
INOUE KAZUYOSHI;UTSUNO FUTOSHI;KAWASHIMA HIROKAZU;YANO KOKI;TOMAI SHIGEKAZU;KASAMI MASASHI;TERAI KOTA |
分类号 |
C04B35/622;C04B35/64;C23C14/34 |
主分类号 |
C04B35/622 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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