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发明名称 GAPFILL IMPROVEMENT WITH LOW ETCH RATE DIELECTRIC LINERS
摘要
申请公布号 KR20110104482(A) 申请公布日期 2011.09.22
申请号 KR20117011147 申请日期 2009.09.29
申请人 APPLIED MATERIALS, INC. 发明人 KWON, YOUNG SOO;JANG, BI;WANG ANCHUAN;LEE YOUNG S.;BALSEANU MIHAELA;XIA LI QUN;JEON, JIN HO
分类号 H01L21/762 主分类号 H01L21/762
代理机构 代理人
主权项
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