Verfahren zur Herstellung von flächigen Größen- oder Abstandsvariationen in Mustern von Nanostrukturen auf Oberflächen

摘要

Verfahren zur flächigen Größen- oder Abstandsvariation in Mustern von Nanostrukturen auf einem Substrat, umfassend a) Kontaktieren eines Substrats mit einer flüssigen Phase, die mit einer anorganischen Metallverbindung beladene Mizellen eines organischen Zweiblock- oder Multiblockcopolymers enthält, durch Eintauchen in diese flüssige Phase, wobei auf dem Substrat chemisch unterschiedliche Polymerdomänen, die in Mizellen eingeschlossene Metallverbindungen umfassen, abgeschieden werden; b) Herausziehen des Substrats aus der flüssigen Phase mit einer vorbestimmten Ziehgeschwindigkeit, wobei die Ziehgeschwindigkeit kontinuierlich oder stufenweise variiert wird, so dass ein Gradient der lateralen Separationslänge der Polymerdomänen auf der Substratoberfläche erzeugt wird, und wobei durch Erhöhung der Ziehgeschwindigkeit die Separationslänge verringert und durch Erniedrigung der Ziehgeschwindigkeit die Separationslänge erhöht wird; c) Überführung der Metallverbindungen in den abgeschiedenen Polymerdomänen durch eine Oxidations- oder Reduktionsbehandlung in anorganische Nanopartikel und gegebenenfalls vollständige oder teilweise Entfernung des organischen Polymers durch eine Plasmabehandlung, wobei die Positionen und die laterale Separationslänge der erhaltenen Nanopartikel von...