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发明名称 APPARATUS TO SPUTTER
摘要
申请公布号 KR20110104364(A) 申请公布日期 2011.09.22
申请号 KR20100023467 申请日期 2010.03.16
申请人 SFA ENGINEERING CORP. 发明人 JEONG, HONG GI;YOO, WUN JONG;SONG, EUN HO;KIM, JOON SOO;KIM, YOUNG MIN
分类号 C23C14/34;C23C14/35;C23C14/50;C23C14/54 主分类号 C23C14/34
代理机构 代理人
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