用于半导体沉积器械之电浆感应盘,申请号TW098300469-传众专利搜索

发明名称	用于半导体沉积器械之电浆感应盘
摘要
申请公布号	TWD142850	申请公布日期	2011.09.21
申请号	TW098300469	申请日期	2009.02.10
申请人	ＡＳＭ吉尼泰克韩国股份有限公司	发明人	李政镐;郑相振;金友赞
分类号	15-99	主分类号	15-99
代理机构		代理人	桂齐恒台北市中山区长安东路2段112号9楼;阎启泰台北市中山区长安东路2段112号9楼
主权项
地址	南韩