超纯水电阻值控制系统

主权项

一种超纯水电阻值控制系统，应用于一液体与一气体进行混合之过程，该系统包含有：一气体管路，用以输送该气体；一抗压装置，其一侧与该气体管路连接，该抗压装置系具有透气性；以及一气液混合管路，具有一开口，该开口与该抗压装置之另一侧连接，能输进通过该抗压装置的该气体，且该气液混合管路之一侧用以输进该液体并输进该气液混合管路中，使得该液体能与该气体于该气液混合管路中进行混合后，从该气液混合管路之另一侧进行输出；其中该抗压装置之内部系为多孔隙结构，使得该气体或该液体在通过时得以产生压降，而能将适当压力之该气体入射至该气液混合管路中，使混合后所得液体之电阻值能被控制在一定范围内。如申请专利范围第1项所述之超纯水电阻值控制系统，其中该气液混合管路系包含有一导流装置与一传输管路，而该传输管路之一第一段与该导流装置之一侧作输通连接，用以将该液体输进该导流装置中，且该开口系设置于该导流装置上，该气体可通过该开口输进该导流装置中，使得该液体能与该气体于该导流装置中进行混合后，从与该导流装置之另一侧作输通连接的该传输管路之一第二段进行输出。如申请专利范围第2项所述之超纯水电阻值控制系统，更包含有一混合装置，其一侧与该传输管路之第二段作输通连接，用以输进混合了该气体之该液体，系能于输送过程中使混合该气体之该液体能再进行更均匀之混合，并从与该混合装置之另一侧作输通连接的该传输管路之一第三段进行输出。如申请专利范围第3项所述之超纯水电阻值控制系统，其中该混合装置内系设置有一静态混合器模组，该静态混合器模组系可改变流体层流运动的速度梯度或形成湍流，或可在流体运动断面方向产生涡流，使混合了该气体之该液体能再进行更均匀之混合。如申请专利范围第4项所述之超纯水电阻值控制系统，其中该静态混合器模组系可为静态混合器、球型混合器、多孔空心纤维或透气薄膜、转子或电动搅拌器之模组组合构造。如申请专利范围第3项所述之超纯水电阻值控制系统，其中该传输管路之第一段上系设置有一进口，可输进该液体，而该传输管路之第三段上系设置有一出口，可输出混合了该气体之该液体。如申请专利范围第3项所述之超纯水电阻值控制系统，更包含有一压力调节阀，设置于该气体管路上，可调节所输送之该气体的气压。如申请专利范围第7项所述之超纯水电阻值控制系统，更包含有一第一压力计与一第二压力计，分别设置于该传输管路之第一段上与该气体管路上，可分别测量输送至该导流装置中的该液体之水压，与经过该压力调节阀进行调节后输送至该抗压装置上的该气体之气压。如申请专利范围第7项所述之超纯水电阻值控制系统，其中经过该压力调节阀进行调节后输送至该抗压装置上的该气体之气压大小，系恒大于或等于输送至该导流装置中的该液体之水压大小。如申请专利范围第7项所述之超纯水电阻值控制系统，更包含有一流量计，设置于该传输管路之第三段上，可测量所输出之混合该气体之该液体的流量大小。如申请专利范围第2项所述之超纯水电阻值控制系统，其中该开口之设置位置系可位于该导流装置之中央。如申请专利范围第2项所述之超纯水电阻值控制系统，其中该导流装置之内部系可采变管径之设计。如申请专利范围第2项所述之超纯水电阻值控制系统，更包含有一微化装置，设置于该气体管路与该抗压装置之间，该微化装置系为奈米尺度之构造，可将所输进的该气体作进一步之微化，而能增加该气体与该液体之接触面积。如申请专利范围第2项所述之超纯水电阻值控制系统，更包含有一疏导装置，连接于该抗压装置的下方并延伸至该导流装置中，该疏导装置系可采用90度空心弯管设计，可将该气体疏导至该导流装置中。如申请专利范围第1项所述之超纯水电阻值控制系统，其中该抗压装置之内部系可由许多微小物体所构成，并能由该等微小物体以立体堆叠之方式形成具有弯曲或直线间隙之多孔隙结构。如申请专利范围第1项所述之超纯水电阻值控制系统，其中该气体系可为二氧化碳，而该液体系可为超纯水。一种超纯水电阻值控制系统，应用于一液体与一气体进行混合之过程，该系统包含有：一气体管路，用以输送该气体；一微化装置，其一侧与该气体管路连接，该微化装置系为奈米尺度之构造且具有透气性，可将所输进的该气体作进一步之微化；一抗压装置，其一侧与该微化装置之另一侧连接，该抗压装置系具有透气性；一导流装置，具有一开口，该开口与该抗压装置之另一侧连接，能输进通过该抗压装置的该气体；以及一传输管路，其一第一段与该导流装置之一侧作输通连接，用以输送该液体并输进该导流装置中，使得该液体能与该气体于该导流装置中进行混合后，从与该导流装置之另一侧作输通连接的该传输管路之一第二段进行输出；其中该抗压装置之内部系为多孔隙结构，使得该气体或该液体在通过时得以产生压降，而能将适当压力之该气体入射至该导流装置中，使混合后所得液体之电阻值能被控制在一定范围内。如申请专利范围第17项所述之超纯水电阻值控制系统，更包含有一疏导装置，连接于该抗压装置的下方并延伸至该导流装置中，该疏导装置系可采用90度空心弯管设计，可将该气体疏导至该导流装置中。一种超纯水电阻值控制系统，应用于一液体与一气体进行混合之过程，该系统包含有：一气体管路，用以输送该气体；一抗压装置，其一侧与该气体管路连接，该抗压装置系具有透气性；一导流混合装置，具有一开口，该开口与该抗压装置之另一侧连接，能输进通过该抗压装置的该气体；以及一传输管路，其一第一段与该导流混合装置之一侧作输通连接，用以输送该液体并输进该导流混合装置中，使得该液体能与该气体于该导流混合装置中进行混合后，从与该导流混合装置之另一侧作输通连接的该传输管路之一第二段进行输出；其中该抗压装置之内部系为多孔隙结构，使得该气体或该液体在通过时得以产生压降，而能将适当压力之该气体入射至该导流混合装置中，使混合后所得液体之电阻值能被控制在一定范围内。如申请专利范围第19项所述之超纯水电阻值控制系统，其中该导流混合装置之内部系设置有一静态混合器模组，而该静态混合器模组系可改变流体层流运动的速度梯度或形成湍流，或可在流体运动断面方向产生涡流，使混合了该气体之该液体能再进行更均匀之混合。