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一种高精度切割晶圆劈裂机，其系包括一晶圆载具以及一冲击裂片装置，该晶圆载具主要系于一平台上组设一定位环座以及数个分布于该定位环座外围之定位器，该冲击裂片装置系设于晶圆载具上方，该冲击裂片装置系于一基座上装设一组连接驱动组件的冲击组件，该冲击组件具有一连接驱动组件驱动端之升降滑座，以及一设于升降滑座上之冲击刀具，其特征在于：该晶圆劈裂机尚包括一气压整平组件，所述之气压整平组件包括多数个高压气体喷嘴，该些高压气体喷嘴系以其喷气口朝下地组设于该冲击刀具两侧邻近冲击作用端部处，用以外接高压气体供压源，对待劈裂之晶圆施以气压整平作用者。如申请专利范围第1项所述之高精度切割晶圆劈裂机，其中该气压整平组件尚包括二座板，该二座板上设有数个由上向下贯穿的喷气孔，提供该些高压气体喷嘴分别组设其中，并藉由该二座板配合固定组件组设于该升降滑座上位于该冲击刀具两侧。如申请专利范围第2项所述之高精度切割晶圆劈裂机，其中该升降滑座侧面两端分别延伸一延伸臂，提供该冲击刀具配合固定组件固定其间；该二延伸臂上各设有水平贯穿的长孔，且内侧面形成凹槽连通长孔，该二座板两侧各形成一具有螺孔之凸部．该凸部置入该凹槽中，并为穿过该长孔的螺栓将该凸部锁固于该延伸臂上，使该二座板固定于升降滑座上。如申请专利范围第2项所述之高精度切割晶圆劈裂机，其中，该气压整平组件尚包括二导气板分别组设于该二设有数高压气体喷嘴之座板侧面，该二导气板下段形成朝冲击刀具方向向下倾斜的斜板部。如申请专利范围第3项所述之高精度切割晶圆劈裂机，其中，该气压整平组件尚包括二导气板分别组设于该二设有数高压气体喷嘴之座板侧面，该二导气板下段形成朝冲击刀具方向向下倾斜的斜板部。如申请专利范围第1至5项任一项所述之高精度切割晶圆劈裂机，其中该晶圆劈裂机尚包括一晶圆位置微调装置装设于该晶圆载具底面，所述之晶圆位置微调装置系包括：一伺服马达、一螺杆、一滑轨组、一滑座以及一驱动臂，该伺服马达设于该晶圆载具之平台底面，并以其心轴对接该螺杆，该滑轨组包括二滑轨固设于该平台底面平行于该螺杆，该滑座系可滑移地组设于该滑轨组上，并为该螺杆螺接其中，该驱动臂一端固接该晶圆载具之定位环座底面，另一端利用枢柱可旋转地枢设于该滑座上。 |
