| 主权项 |
一种确定振动相关资讯之方法，包含将一空间影像投影于一投影平面中之一影像位置处；将该空间影像之一强度映射成一影像映射，该影像映射包含取样位置之座标值及在每一取样位置处选取之样本强度；量测经由一狭缝图案接收之该空间影像之强度，其中该方法进一步包含：自该影像映射确定该影像映射之一倾斜侧部分之一侦测位置；在该倾斜侧部分之该侦测位置处，量测该空间影像之一暂时强度并量测该狭缝图案及该影像位置之相对位置，该狭缝图案之该等相对位置经量测而作为该狭缝图案之位置相关资料；及自该空间影像之该暂时强度确定该空间影像之振动相关资讯。如请求项1之确定振动相关资讯之方法，其中量测该狭缝图案及该影像位置之相对位置包含在整个扫描范围上取样，该扫描范围系藉由控制该狭缝图案及该影像位置之该等相对位置之一位移来界定。如请求项1之确定振动相关资讯之方法，其中量测该空间影像之该暂时强度包含以一固定时间间隔取样并透射影像侦测。如请求项1之确定振动相关资讯之方法，其中该空间影像之该振动相关资讯包含时域振动资料。如请求项1之确定振动相关资讯之方法，其中该空间影像之该振动相关资讯包含频域振动资料。如请求项1之确定振动相关资讯之方法，其中该振动相关资讯可用于该振动资料之资料处理。如请求项1之确定振动相关资讯之方法，其中该狭缝图案包含一格栅。如请求项6之确定振动相关资讯之方法，其中该资料处理提供一基于时间之移动标准偏差作为一用于该空间影像之品质的量测。如请求项6之确定振动相关资讯之方法，其中该资料处理提供该振动相关资讯与该狭缝图案之位置相关资料之间的一相关性。一种确定一空间影像之振动相关资讯的装置，该空间影像系投影于一投影平面中之一影像位置处，且该装置经配置以将一空间影像之一强度映射成一影像映射，该影像映射包含取样位置之座标值及在每一取样位置处选取之样本强度；该装置包含一狭缝图案；一光感应器件；一连接至该光感应器件之一电脑系统，该光感应器件系相对于该狭缝图案而配置于一预定位置中以量测经由该狭缝图案而接收之该空间影像之强度；其中该装置经配置以移位该狭缝图案之该等相对位置及该投影平面中之该影像位置；其中该用于确定振动相关资讯之装置经配置以执行一方法，包含：自该影像映射确定该影像映射之一倾斜侧部分之一侦测位置；在该倾斜侧部分之该侦测位置处，量测该空间影像之一暂时强度并量测该狭缝图案之相对位置及该影像位置，该狭缝图案之该等相对位置经量测而作为该狭缝图案之位置相关资料；及自该空间影像之该暂时强度确定该空间影像之振动相关资讯。如请求项10之装置，其中该狭缝图案系配置低于该空间影像的一平面。一种微影装置，其包含：一用于提供一辐射投影射束之照明系统；一用于支撑图案化器件之支撑结构，该图案化器件用于赋予该投影射束一在其横截面中之图案；一用于固持一基板之基板台；一用于将该图案化射束投影至该基板之一目标部分上之投影系统，及一用于确定一空间影像之振动相关资讯的装置，该空间影像系投影于一投影平面中之一影像位置处，且该装置经配置以将一空间影像之一强度映射成一影像映射，该影像映射经配置以包含取样位置之座标值及在每一取样位置处取样之强度；该装置包含：一狭缝图案；一光感应器件；及一连接至该光感应器件之一电脑系统，该光感应器件相对于该狭缝图案而配置于一预定位置中以量测经由该狭缝图案接收之该空间影像之强度，其中；该装置经配置以移位该狭缝图案之该等相对位置及该投影平面中之该影像位置；其中该用于确定振动相关资讯之装置经配置以执行以下步骤：自该影像映射确定该影像映射之一倾斜侧部分之一侦测位置；在该倾斜侧部分之该侦测位置处，量测该空间影像之一暂时强度并量测该狭缝图案之相对位置及该影像位置，该狭缝图案之该等相对位置经量测而作为该狭缝图案之位置相关资料；及自该空间影像之该暂时强度确定该空间影像之振动相关资讯。如请求项12之微影装置，其中该狭缝图案系配置低于该空间影像的一平面。一种器件制造方法，其包含以下步骤：提供一基板；使用一照明系统提供一辐射投影射束；使用图案化器件赋予该投影射束一在其横截面中之图案；将该图案化辐射束投影至该基板之一目标部分上，及确定振动相关资讯，该确定包含：将一空间影像投影至一投影平面中之一影像位置处；将该空间影像之一强度映射成一影像映射，该影像映射包含取样位置之座标值及在每一取样位置处选取之样本强度；量测经由一狭缝图案接收之该空间影像之强度，自该影像映射确定该影像映射之一倾斜侧部分之一侦测位置；在该倾斜侧部分之该侦测位置处，量测该空间影像之一暂时强度并量测该狭缝图案之相对位置及该影像位置，该狭缝图案之该等相对位置经量测而作为该狭缝图案之位置相关资料；及自该空间影像之该暂时强度确定该空间影像之振动相关资讯。一种用于一确定一空间影像之振动相关资讯之装置中的电脑系统，该空间影像系投影于一投影平面中之一影像位置处，且该装置经配置以将一空间影像之一强度映射成一影像映射，该影像映射包含取样位置之座标值及在每一取样位置处选取之样本强度；该装置包含：一狭缝图案；一光感应器件；及一连接至该光感应器件之一电脑系统，该光感应器件相对于该狭缝图案配置于一预定位置中以量测经由该狭缝图案接收之该空间影像之强度；其中该装置经配置以移位该狭缝图案之该等相对位置及该投影平面中之该影像位置；其中该电脑系统经配置以使得该确定振动相关资讯之装置执行以下步骤：自该影像映射确定该影像映射之一倾斜侧部分之一侦测位置；在该倾斜侧部分之该侦测位置处，量测该空间影像之一暂时强度并量测该狭缝图案之相对位置及该影像位置，该狭缝图案之该等相对位置经量测而作为该狭缝图案之位置相关资料；及自该空间影像之该暂时强度确定该空间影像之振动相关资讯。一种由一电脑系统载入之电脑程式产品，该电脑系统用于一确定一空间影像之振动相关资讯之装置，该空间影像系投影于一投影平面中之一影像位置处，且该装置经配置以将一空间影像之一强度映射成一影像映射，该影像映射包含取样位置之座标值及在每一取样位置处选取之样本强度；该装置包含：一狭缝图案；一光感应器件；及一连接至该光感应器件之一电脑系统，该光感应器件相对于该狭缝图案配置于一预定位置中以量测经由该狭缝图案接收之该空间影像之强度；其中该装置经配置以将该狭缝图案之该等相对位置及该投影平面中之该影像位置；其中该电脑程式产品在被载入后允许该电脑系统执行以下步骤：自该影像映射确定该影像映射之一倾斜侧部分之一侦测位置；在该倾斜侧部分之该侦测位置处，量测该空间影像之一暂时强度并量测该狭缝图案之相对位置及该影像位置，该狭缝图案之该等相对位置经量测作为该狭缝图案之位置相关资料；及自该空间影像之该暂时强度确定该空间影像之振动相关资讯。一种如请求项10之确定一空间影像之振动相关资讯之装置的使用，其中该用于振动相关资讯确定之装置为一光学系统之一子系统，该光学系统包含其它光学子系统，且该使用包括获得用于该光学系统之一调变转换函数的该空间影像之该振动相关资讯，该调变转换函数包含用于该光学系统之该等其它光学子系统之其它作用。如请求项17之确定一空间影像之振动相关资讯之装置的使用，其中该光学系统为一微影装置之一投影系统。如请求项17或18之确定一空间影像之振动相关资讯之装置的使用，作为一预防用之维护工具，可由该电脑系统监控或由一远端系统在监督网路上监控。一种量测一物件之一位置的方法，该方法包含当该物件静止时由一第一感应器执行对该物件之一第一位置量测，且当该物件静止时由一第二感应器执行对该物件之一第二位置量测，该第一位置量测与该第二位置量测互不相同，该第一位置量测与该第二位置量测两者均包含随时间选取复数个样本并呈现该第一量测及该第二量测，其中该方法包含随时间选择一资料集以诊断该第一感应器及/或该第二感应器之该等位置量测。如请求项20之方法，其中该方法包含同时执行该第一位置量测与该第二位置量测。如请求项20之方法，其中该方法进一步包含比较该第一感应器与该第二感应器之该等量测。如请求项20之方法，其中该第一感应器为一透射影像侦测器件、一离轴对准感应器、一过镜面对准感应器及一干涉计中之一者。如请求项20之方法，其中该第二感应器为一透射影像侦测器件、一离轴对准感应器、一过镜面对准感应器及一干涉计中之一者。如请求项20之方法，其中该第一感应器藉由量测一定位在该物件上或在一定位于该物件上之基板上的对准标记之位置来量测该物件之位置。如请求项20之方法，其中该方法包含：产生一对准射束，将该对准射束引导至一定位于该物件上之对准标记，藉由该第一感应器接收一来自该对准标记之反射射束，利用该第一感应器量测来自该对准标记之该反射射束，该被量测之强度随着该物件之位置而变化。如请求项26之方法，其中由该第一感应器量测之该强度随着该物件之位置而变化，且具有如下三个位置中之至少一者：一第一位置，其中该强度为该位置的函数、较低且具有一大体上为零之斜率，一第二位置，其中该强度为该位置的函数、较高且具有一大体上为零之斜率，及一第三位置，其中该强度介于该第一位置之该强度与该第二位置之该强度之间且具有不等于零之斜率。如请求项27之方法，其中该方法包含至少在该第一位置、该第二位置及该第三位置中之一者处选取复数个取样。如请求项20之方法，其中该物件系一用于一微影装置中之基板台。如请求项20之方法，其中该方法包含自该第一感应器及/或该第二感应器之该等位置量测获得傅立叶转换。如请求项20之方法，其中该方法包含在移动该物件并停止该物件之该移动后立即执行该第一位置量测及该第二位置量测中之至少一者。一种量测一物件之一位置的系统，该系统包含一当该物件静止时执行对该物件之一第一位置量测之第一感应器，及一当该物件静止时执行对该物件之一第二位置量测之第二感应器，该第一位置量测与该第二位置量测互不相同，该第一感应器与该第二感应器分别经配置以分别在该第一位置量测及该第二位置量测期间随时间选取复数个样本，且该系统经配置以呈现该第一量测及该第二量测，其中该第一感应器及/或该第二感应器之该等位置量测系以一随时间选择之资料集诊断。一种电脑程式产品，当将该电脑程式产品载入一电脑配置时，其可经配置以执行如请求项20之方法。一种用于确定一空间影像之振动相关资讯之装置的机器可读取媒体，该空间影像系投影于一投影平面中之一影像位置处，且经配置以将一空间影像之一强度映射成一影像映射，该影像映射包含取样位置之座标值及在每一取样位置处选取之样本强度；该装置包含：一狭缝图案；一光感应器件；及一连接至该光感应器件之一电脑系统，该光感应器件相对于该狭缝图案配置于一预定位置中以量测经由该狭缝图案接收之该空间影像之强度；其中该装置经配置以移位该狭缝图案之该等相对位置及该投影平面中之该影像位置；该机器可读取媒体经配置以执行一方法，包含：自该影像映射确定该影像映射之一倾斜侧部分之一侦测位置；在该倾斜侧部分之该侦测位置处，量测该空间影像之一暂时强度并量测该狭缝图案之相对位置及该影像位置，该狭缝图案之该等相对位置经量测而作为该狭缝图案之位置相关资料；及自该空间影像之该暂时强度确定该空间影像之振动相关资讯。 |
