| 主权项 |
一种高频表面声波元件，包括：一压电基板；一高声速层，系形成于该压电基板之表面，且该高声速层之表面声波声速系大于5000 m/sec；一输入转换部；以及一输出转换部；其中，该输入转换部与该输出转换部系成对地设置于该高声速层之表面，且该高声速层之材质为氧化铝。如申请专利范围第1项所述之高频表面声波元件，其中该压电基板之材质为铌酸锂、石英、钽酸锂、砷化镓或兰克赛。如申请专利范围第1项所述之高频表面声波元件，其中该高声速层之厚度系介于2 μm至20 μm之间。如申请专利范围第1项所述之高频表面声波元件，其中该高声速层系以电子束蒸镀的方式形成于该压电基板之表面。如申请专利范围第1项所述之高频表面声波元件，其中该输入转换部及该输出转换部分别为一交叉指状电极。如申请专利范围第1项所述之高频表面声波元件，其中该输入转换部及该输出转换部之材质为铝。一种高频表面声波元件，包括：一压电基板；一高声速层，系形成于该压电基板之表面，且该高声速层之表面声波声速系大于5000 m/sec；一输入转换部；以及一输出转换部；其中，该输入转换部与该输出转换部系成对地设置于该压电基板之表面，且该高声速层覆盖介于该输入转换部与该输出转换部之间之压电基板部分表面，该高声速层之材质为氧化铝。如申请专利范围第7项所述之高频表面声波元件，其中该压电基板之材质为铌酸锂、石英、钽酸锂、砷化镓或兰克赛。如申请专利范围第7项所述之高频表面声波元件，其中该高声速层之厚度系介于2 μm至20 μm之间。如申请专利范围第7项所述之高频表面声波元件，其中该高声速层系以电子束蒸镀的方式沈积于该压电基板之表面。如申请专利范围第7项所述之高频表面声波元件，其中该高声速层更覆盖该输入转换部之部分表面。如申请专利范围第7项所述之高频表面声波元件，其中该高声速层更覆盖该输出转换部之部分表面。如申请专利范围第7项所述之高频表面声波元件，其中该输入转换部及该输出转换部分别为一交叉指状电极。如申请专利范围第7项所述之高频表面声波元件，其中该输入转换部及该输出转换部之材质为铝。 |
