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经营范围
发明名称
用于半导体沉积器械之电浆感应盘
摘要
申请公布号
申请公布日期
2011.09.21
申请号
TW098300469
申请日期
2009.02.10
申请人
ASM吉尼泰克韩国股份有限公司
发明人
李政镐;郑相振;金友赞
分类号
1599
主分类号
1599
代理机构
代理人
桂齐恒 台北市中山区长安东路2段112号9楼;阎启泰 台北市中山区长安东路2段112号9楼
主权项
地址
南韩
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