膜型探针单元及其制造方法

摘要

本发明涉及膜型探针单元及其制造方法，更具体地，涉及包括以与待测试对象的电极相同的节距单独形成的探针板并且即使在电极具有微米尺度间距时仍表现出极好的接触性能的膜型探针单元及其制造方法。该膜型探针单元包括：探针板，其具有形成在绝缘膜上的图案化引线以允许一些图案化引线用作触点来与对测试对象接触；以及主体块，该探针板设置在该主体块的底部。触点形成为两行或更多行。

主权项

一种膜型探针单元，包括：探针板，具有形成在绝缘膜上的图案化引线以允许一些图案化引线用作触点来与待测试对象接触，所述触点形成为两行或更多行；以及主体块，所述探针板设置在所述主体块的底部。