蓝宝石单晶的制造方法

摘要

本发明实施下述工序：熔融工序，该工序使坩埚中的氧化铝熔融，得到氧化铝熔液；肩部形成工序，该工序通过提拉与氧化铝熔液接触的晶种，在晶种的下方形成肩部；直体部形成工序，该工序从熔液提拉蓝宝石单晶，形成直体部；以及，尾部形成工序，该工序供给含有氧和惰性气体并且氧的浓度被设定为1.0体积％以上且5.0体积％以下的混合气体，并且从熔液拉离蓝宝石单晶，形成尾部。由此，在从氧化铝熔液结晶生长蓝宝石单晶时，更加抑制蓝宝石单晶的尾部的凸状部的形成。

主权项

一种蓝宝石单晶的制造方法，其特征在于，具有：熔融工序，该工序使置于室内的坩埚中的氧化铝熔融，得到该氧化铝的熔液；生长工序，该工序向所述室内供给氧浓度被设定为第1浓度的第1混合气体，并且从所述熔液提拉蓝宝石单晶使其生长；和分离工序，该工序向所述室内供给氧浓度被设定为比所述第1浓度高的第2浓度的第2混合气体，并且进一步提拉所述蓝宝石单晶将其从所述熔液拉开而分离。