| 发明名称 | 探针卡的输送机构、探针卡的输送方法和探针装置 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种即使是大型探针卡也能确保足够的机械强度，并且能够顺利地进行探针卡的更换操作的探针卡的输送机构。本发明的探针卡的输送机构包括：输送探针卡的第一卡输送机构(11)；和在第一卡输送机构(11)与嵌入环(54)之间输送探针卡(56)的第二卡输送机构(12)，其中，第一卡输送机构(11)具有被设置在头旋转驱动机构(57)侧、且在第一卡输送机构(11)和第二卡输送机构(12)之间进行探针卡(56)的交接的能够进退的卡保持具(13)，第二卡输送机构(12)具有：在第一卡输送机构(11)与嵌入环(54)之间输送探针卡(56)的载置台(52)；和在载置台(52)的周围，按照相互隔开规定间隔且能够升降的方式设置的第一、第二、第三升降机构(16A、16B、16C)。 | ||
| 申请公布号 | CN102193059A | 申请公布日期 | 2011.09.21 |
| 申请号 | CN201110038311.3 | 申请日期 | 2011.02.12 |
| 申请人 | 东京毅力科创株式会社 | 发明人 | 井上大辅;秋山收司 |
| 分类号 | G01R31/28(2006.01)I | 主分类号 | G01R31/28(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 | 代理人 | 龙淳 |
| 主权项 | 一种探针卡的输送机构，其特征在于，包括：输送探针卡的第一卡输送机构，用于在探针装置的嵌入环上装卸所述探针卡；和在所述第一卡输送机构和所述嵌入环之间输送所述探针卡的第二卡输送机构，其中所述第一卡输送机构具有：设置在使测试头旋转至所述嵌入环的旋转驱动机构侧、且在所述第一卡输送机构与所述第二卡输送机构之间进行所述探针卡的交接的能够进退的卡保持具，所述第二卡输送机构具有：在所述第一卡输送机构与所述嵌入环之间输送所述探针卡的载置台；和在所述载置台的周围按照相互隔开规定间隔且能够升降的方式设置并且在所述第一卡输送机构与所述载置台之间交接所述探针卡的升降机构。 | ||
| 地址 | 日本东京 | ||