流体探针

摘要

一种用于检测流体的特性的设备，包括：主体区以及具有第一端和第二端的弹性元件。第一端固定地位于所述主体区上。弹性元件被设置为通过弯曲弹性元件可使其从至少第一结构运动到第二结构。弹性元件包括激励部，该激励部被设置用于使弹性元件在第一结构与第二结构之间运动。该设备还包括运动检测器，用于检测弹性元件的运动。

主权项

一种使用传感元件确定流体特性的方法，该传感元件包括：弹性元件，通过弯曲所述弹性元件可使所述弹性元件从第一结构运动到第二结构，所述弹性元件包括激励部，被设置用于使所述弹性元件在所述第一结构与所述第二结构之间运动，该方法包括：通过向所述弹性元件施加热信号，引起所述弹性元件在所述第一结构与第二结构之间进行运动；从所述传感元件接收信号，所述信号表明了在所述流体中引起的所述弹性元件的运动；以及处理所述信号以确定表明所述流体的至少一个特性的值；所述方法还包括，通过静电力将所述弹性元件保持在所述两个结构中的至少一个中。