基于液体折射率调制的集成光波导傅里叶变换光谱仪

摘要

本发明公开了一种基于液体折射率调制的集成光波导傅里叶变换光谱仪，涉及光MEMS加工技术、集成光波导传感技术和数字信号处理技术，包括光源、集成光波导干涉计芯片、光探测器、样品池、流控进样系统、数字信号处理系统；其样品池固定在光波导干涉计芯片表面，流控进样系统与样品池相通连；光源发射的光经棱镜耦合(或光栅耦合或端面耦合)进入集成光波导干涉计芯片成为导波光，从集成光波导干涉计芯片耦合输出的干涉光信号被光探测器接收，光探测器产生的电信号被传输至与光探测器相连的数字信号处理系统进行处理，实现对输入光谱的反演重建。本发明方法新颖，装置结构简单、使用方便、体积小、重量轻、制作容易。

主权项

一种基于液体折射率调制的集成光波导傅里叶变换光谱仪，包括光源、集成光波导干涉计芯片、光探测器、样品池、流控进样系统、数字信号处理系统；其特征在于，样品池固定在光波导干涉计芯片表面，流控进样系统与样品池相通连；光源发射的光经棱镜耦合进入集成光波导干涉计芯片成为导波光，从集成光波导干涉计芯片耦合输出的干涉光信号被光探测器接收，光探测器产生的电信号被传输至与光探测器相连的数字信号处理系统进行处理，实现对输入光谱的反演重建。