生物传感器的制造方法

摘要

公开了以高成品率制造具有场效应晶体管的生物传感器的方法。含有场效应晶体管的生物传感器的制造方法包括以下步骤：在硅基板的一面上形成氧化硅膜和多晶硅膜的层积膜；在所述硅基板的另一面上形成氧化硅膜；在形成于所述硅基板的另一面上的氧化硅膜上形成源电极及漏电极和用于连接源电极与漏电极的通道；以及去除所述硅基板的一面上的多晶硅膜。

主权项

一种生物传感器的制造方法，该生物传感器包括：硅基板、形成在所述硅基板的一面上的氧化硅膜、在形成于所述硅基板的一面上的氧化硅膜上配置的反应场及栅电极、形成在所述硅基板的另一面上的氧化硅膜、以及在形成于所述另一面上的氧化硅膜上配置的源电极及漏电极和用于连接源电极与漏电极的通道，所述生物传感器的制造方法包括以下步骤：在硅基板的一面上形成氧化硅膜和多晶硅膜的层积膜；在所述硅基板的另一面上形成氧化硅膜；在形成于所述硅基板的另一面上的氧化硅膜上，形成源电极及漏电极和用于连接源电极与漏电极的通道；去除所述硅基板的一面上的多晶硅膜；以及在所述硅基板的一面上配置栅电极。