| 发明名称 | 扫描式电子显微镜 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种扫描式电子显微镜，包括：电子束源，产生初级电子束；聚焦透镜，聚焦该初级电子束；基板，其表面形成有具有孔隙的钻石膜，以供该初级电子束通过；以及扫描单元，以该初级电子束对样品进行二维扫描。本发明可解决基板空隙变形及微粒污染的问题，有效降低成本，并能有效增加电子束强度。 | ||
| 申请公布号 | CN101383261B | 申请公布日期 | 2011.09.21 |
| 申请号 | CN200710162191.1 | 申请日期 | 2007.12.21 |
| 申请人 | 采钰科技股份有限公司 | 发明人 | 郭养国;邓国星 |
| 分类号 | H01J37/28(2006.01)I | 主分类号 | H01J37/28(2006.01)I |
| 代理机构 | 隆天国际知识产权代理有限公司 72003 | 代理人 | 陈晨 |
| 主权项 | 一种扫描式电子显微镜，包括：电子束源，产生初级电子束；聚焦透镜，聚焦该初级电子束；基板，具有孔隙，以供该初级电子束通过；钻石膜，形成于该基板的表面，露出该孔隙；以及扫描单元，以该初级电子束对样品进行二维扫描。 | ||
| 地址 | 中国台湾新竹 | ||