多光束显微机械加工系统及方法

摘要

一种用于把能量输送给基板的系统及方法包括提供多个辐射光束且可动态导向的辐射能量源，每个辐射光束沿可动态选择的方向传播。多个光束导向元件内的多个可独立定位的光束导向元件接收光束并把它们引导至基板上的可选择位置。多个激光束聚焦模块与多个光束导向元件联合，以把每个光束聚焦到该基板上。

主权项

用于把激光能输送给工件的装置，包括：提供至少一个激光束的至少一个激光能源；多个激光束导向模块，设置成可选择地引导所述至少一个激光束中的每个至一工件上的可选择位置；以及多个激光束聚焦光学模块，与所述激光束导向模块联合以独立地把激光束中的每个聚焦到所述工件上，所述激光束聚焦光学模块位于所述激光束导向模块的上游，每个激光束聚焦光学模块包括至少一个可移动透镜，该可移动透镜能够独立于与其它聚焦模块相关的可移动透镜工作，使得所述至少一个激光束中的每个光束都独立于至少一个激光束中的其它光束地经光束导向模块引导至可选择位置，并聚焦在工件上的该可选择位置处。