用于产生光学测量仪器中所用的光束的装置和方法

摘要

一种用于提供在衍射仪器(1)中使用的光束的装置，其包括：用于产生光束的设备(10；17；28)；以及用于将由设备(10；17；28)所产生的光束进行整形的器具(12，21；24)，使用中，该器具的尺寸被设计，以确定光束形状，该器具还包括：小孔(21，25)以及用于抑制所述光束中特定范围之上的空间频率分量的器具(13；24)。所述装置还包括一个空间低通滤波器(14，15；26，27)，该空间低通滤波器被布置用于对所述光束整形器具所提供的光束进行滤波。

主权项

用于提供在光散射测量仪器(1)中使用的衍射极限下的基本单色的光束的装置(17，23)，该装置包括：用于产生光束的设备(10；17；28)；以及用于将由所述设备(10；17；28)所产生的光束进行整形的器具(12，21；24)，在使用中，该器具的尺寸被设计以确定光束形状，所述器具包括：小孔(21，25)；用于抑制所述光束中特定范围之上的空间频率分量的器具(13；24)，以及还包括一个空间低通滤波器(14，15；26，27)，其被布置为对所述光束整形器具所提供的光束进行滤波，其特征在于：所述空间低通滤波器包括，中继透镜组(14；26)，其发挥傅立叶变换透镜的作用；以及光圈挡片(15；27)，其被基本定位在中继透镜组(14；26)的焦平面内。