发明名称 用于执行目标图像的差分测量的装置和方法
摘要 用于执行目标图像的差分测量的装置和方法。本发明涉及一种用于目标的目标图像的差分测量的装置和方法,所述装置(1)包括用于根据预定掩模图案来执行源自于所述目标的电磁波的相移的光学相移掩模单元(2);用于由所述光学相移掩模单元提供的相移电磁波的叠加的光学叠加单元(3);以及用于检测由所述光学叠加单元提供的叠加电磁波的强度的传感器阵列(4)。该装置可以用于在可见和不可见频率范围中使用的任何种类的数字照相机。
申请公布号 CN102192781A 申请公布日期 2011.09.21
申请号 CN201110034034.9 申请日期 2011.02.01
申请人 西门子公司 发明人 A·吉尔格;U·韦弗;周雅赟
分类号 G01J1/04(2006.01)I;G01J1/42(2006.01)I 主分类号 G01J1/04(2006.01)I
代理机构 中国专利代理(香港)有限公司 72001 代理人 王小衡;李家麟
主权项 一种用于目标的目标图像的差分测量的装置,所述装置(1)包括:(a)光学相移掩模单元(2),其用于根据预定掩模图案来执行源自于所述目标的电磁波的相移;(b)光学叠加单元(3),其用于由所述光学相移掩模单元提供的相移电磁波的叠加;以及(c)传感器阵列(4),其用于检测由所述光学叠加单元提供的叠加电磁波的强度。
地址 德国慕尼黑