| 发明名称 | 衬底转移容器、气体净化监视工具及具有其的半导体制造设备 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种衬底转移容器、气体净化监视工具及具有其的半导体制造设备。该衬底转移容器，包括壳体，所述壳体包括在具有内部环境的气体腔内设置的多个衬底槽。每个衬底槽容纳经受衬底制造处理的衬底，该气体腔的内部环境选择性与外部环境密封。壳体处的检测单元被构造和设置成检测气体腔的内部环境的环境属性，并响应地产生检测信号。壳体处的信号传送模块被构造成无线传送从检测单元接收的检测信号。 | ||
| 申请公布号 | CN102194730A | 申请公布日期 | 2011.09.21 |
| 申请号 | CN201110064115.3 | 申请日期 | 2011.03.15 |
| 申请人 | 三星电子株式会社 | 发明人 | 罗秉国;尹泰植;李建衡;金贤俊;金赫基;金起斗 |
| 分类号 | H01L21/677(2006.01)I;H01L21/67(2006.01)I;H01L21/00(2006.01)I;H01L21/66(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/677(2006.01)I |
| 代理机构 | 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 | 代理人 | 李佳;穆德骏 |
| 主权项 | 一种衬底转移容器，包括：壳体，所述壳体包括多个衬底槽，每个衬底槽用于保持经受制造处理的衬底；门，所述门被构建和布置成：密封所述壳体的内部环境；所述壳体处的检测单元，所述检测单元用于检测所述内部环境的环境属性；以及信号传送模块，所述信号传送模块被构造成：传送从所述检测单元接收的检测信号。 | ||
| 地址 | 韩国京畿道水原市灵通区梅滩洞416番地 | ||