用于增强待量测图案的可辨认度的方法

摘要

本发明提供一种针对关键尺寸扫描式电子显微镜的用于增强待量测图案的可辨认度的方法，所述方法包括以下步骤：选择辅助图形的形状并确定所述辅助图形的尺寸；在光罩上确定所述待量测图案所在的区块；在所述区块旁边定位所述辅助图形；在所述光罩上制作所述辅助图形；对所述光罩进行曝光。本发明提供的方法使得可以自动地对晶片上那些难以辨认的图案进行量测，增强图案的可辨认度，从而提高量测的准确度、降低停机时间和减少人力资源的浪费。

主权项

一种用于增强待量测图案的可辨认度的方法，该方法包括以下步骤：a)选择辅助图形的形状并确定所述辅助图形的尺寸；b)在光罩上确定所述待量测图案所在的区块；c)在所述区块旁边定位所述辅助图形；d)在所述光罩上制作所述辅助图形；e)对所述光罩进行曝光。