减少MEMS器件中的空气阻尼

摘要

一种微机电器件，含有基板(10)、可移动装置，可移动装置能够在电极静电力的作用下向基板移动，可移动装置和基板的相对表面的形状使得当其在闭合位置时，通过相对的表面限定一个或多个排气通道(VC)，配置使得相对表面之间的流体可以流过相对的表面，从而进入或离开位于相对表面之间的区域。该通道可以使可移动装置的移动流体阻尼受控。增加进入或离开相对表面之间区域的流量，可以减少该阻尼，并且因此增加了器件打开和闭合的速度。该通道可以与电极的孔相连。

主权项

一种微机电器件，含有基板(10)、可相对于基板移动的可移动装置(e2)，可移动装置和基板的相对表面的形状使得当它们在闭合位置时，通过相对表面限定一个或多个排气通道(VC)，其被配置为使得相对表面之间的流体可以流过相对表面，从而进入或离开位于相对表面之间的区域，其中，可移动装置或基板含有一个或多个孔，以从接触表面排出流体，布置通道以从所述孔延伸到没有孔的区域，并且布置通道中的三个或更多通道，以使其从每个孔呈星形图案向外放射。