一种新型传动旋转端头

摘要

本实用新型涉及到一种传动旋转端头，尤其涉及到一种采用多层水密封装置和真空密封装置的传动旋转端头，包括机座装置、驱动轴装置、中间水流输送装置、壳体，靶材，其特征在于，所述中间水流输送装置与驱动装置之间设置水密封装置，所述驱动装置与机座装置之间设置有真空密封装置。技术效果是防止镀膜不均匀的现象，防止漏水漏气现象，方便更换靶材，提高了靶材的更换灵活性和旋转端头的密封性，以及溅射功率和旋转阴极的整体稳定性。

主权项

一种新型传动旋转端头，包括机座装置、驱动轴装置、中间水流输送装置、水连接装置、壳体，靶材，其特征在于，所述中间水流输送装置与驱动装置之间设置水密封装置，所述驱动装置与机座装置之间设置有真空密封装置。