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发明名称 Euv pellicle with increased euv light transmittance
摘要
申请公布号 GB2456980(B) 申请公布日期 2011.09.21
申请号 GB20090009392 申请日期 2007.11.09
申请人 ADVANCED MICRO DEVICES, INC;GLOBALFOUNDRIES, INC. 发明人 OBERT REEVES WOOD II;KIM RYOUNG-HAN;THOMAS WALLOW
分类号 G03F1/14 主分类号 G03F1/14
代理机构 代理人
主权项
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