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经营范围
发明名称
Fabricating method of semiconductor integrated circuit device
摘要
申请公布号
KR101066745(B1)
申请公布日期
2011.09.21
申请号
KR20090061026
申请日期
2009.07.06
申请人
发明人
分类号
H01L21/60
主分类号
H01L21/60
代理机构
代理人
主权项
地址
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