滤光器、使用该滤光器的分析设备以及光学设备

摘要

本发明涉及滤光器、使用该滤光器的分析设备以及光学设备。该滤光器具有对置的第1反射膜和第2反射膜、第1电极、第2电极、第3电极、第4电极、电位差控制部，第1电极和第3电极隔开第1距离地对置，第2电极和第4电极隔开与第1距离不同的第2距离地对置，通过电位差控制部使第1电极和第3电极之间产生电位差来使第1电极和第3电极抵接，使第2电极和第4电极之间产生电位差来使第2电极和上述第4电极抵接，从而能够高精度地控制第1反射膜和第2反射膜之间的间隙。

主权项

一种滤光器，其特征在于，具有：第1基板；第2基板，其与上述第1基板对置；第1反射膜，其设置于上述第1基板；第2反射膜，其设置于上述第2基板，且与上述第1反射膜对置；第1电极，其设置于上述第1基板，并且俯视时设置于上述第1反射膜的周围；第2电极，其设置于上述第1基板，并且俯视时设置于上述第1电极与上述第1反射膜之间；第3电极，其设置于上述第2基板，且与上述第1电极对置；第4电极，其设置于上述第2基板，且与上述第2电极对置；以及电位差控制部，其对上述第1电极与上述第3电极之间的电位差、上述第2电极与上述第4电极之间的电位差进行控制，上述第1电极和上述第3电极隔开第1距离地对置，上述第2电极和上述第4电极隔开与上述第1距离不同的第2距离地对置，上述电位差控制部通过使上述第1电极与上述第3电极之间产生电位差来使上述第1电极和上述第3电极抵接，并通过使上述第2电极与上述第4电极之间产生电位差来使上述第2电极和上述第4电极抵接。