一种硅棒切片辅助装置

摘要

本实用新型公开了一种硅棒切片辅助装置，包括一个晶托，所述晶托上粘贴硅棒，所述硅棒相对于晶托的面为切入面(3)，所述切入面上粘贴有切入导向片。所述切入导向片的长度方向与硅棒的轴向方向一致，所述切入导向片的数量为1-4条。所述切入导向片的厚度为1-3毫米。所述切入导向片的材料为树脂。采用了本实用新型的硅棒切片辅助装置，在线锯切入硅棒的切入面前先切到树脂材料的切入导向片，而树脂材料的切入导向片的特性决定了线锯不易发生打滑，从而使线锯在切入硅棒的切入面之间有了一个导向，而不易在切入硅棒时发生打滑而影响硅棒切片的质量。

主权项

一种硅棒切片辅助装置，包括一个晶托（1），所述晶托（1）上粘贴硅棒（2），所述硅棒（2）相对于晶托（1）的面为切入面（3），其特征在于所述切入面（3）上粘贴有切入导向片（4）。