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发明名称 DECOMPRESSION MODULE USING THE FLOW OF GAS AND VACUUM APPARATUS FOR SEMICONDUCTOR MANUFACTURING
摘要
申请公布号 KR101066634(B1) 申请公布日期 2011.09.21
申请号 KR20090055562 申请日期 2009.06.22
申请人 发明人
分类号 H01L21/02 主分类号 H01L21/02
代理机构 代理人
主权项
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