一种融入了阻变材料的多位快闪存储器

摘要

本发明公开了一种多位快闪存储器，包括衬底、源端和漏端，以及依次层叠在沟道之上的遂穿氧化层、多晶硅浮栅(对应于浮栅型闪存)或氮化硅陷阱层(对应于分离陷阱型闪存)、阻挡氧化层、金属下电极、阻变材料层和金属上电极。其中金属下电极在读取时，通过外面串联的电阻接地，使得阻变材料层起到明显的分压效果。本发明以现有的快闪存储单元为基本架构，融入了阻变材料存储单元，与当前的主流闪存制备工艺兼相兼容，并在很大程度上提高了单位面积上的存储密度。

主权项

一种多位快闪存储器，包括衬底、源端和漏端，以及依次层叠在沟道之上的遂穿氧化层、多晶硅浮栅和阻挡氧化层，其特征在于，在阻挡氧化层上依次层叠金属下电极、阻变材料层和金属上电极。