电熔单炉法大尺寸超厚透明石英型材的制造方法

摘要

一种电熔单炉法大尺寸超厚透明石英型材的制造方法，先将保温砂装入炉体保温层；将石墨导电单棒装入电熔炉内；将高纯度水晶砂装入电熔炉内；然后开始抽排炉内空气；对石墨导电单棒通电，连续抽排真空，保持炉内真空度稳定；水晶砂在高温焙烧下，逐渐熔融成液体；熔融料形成的气体杂质被真空泵不断排出炉外；停止供电和抽排真空后，要等到炉内真空压力恢复到常压以后，倒出圆坨状石英料；在自然状态下，圆坨状石英料的表面温度冷却至800-100℃，送到压力机下；挤压成长方形石英块，待冷却至室温后，进行机械切割，后经打磨和抛光，形成超厚透明石英型材。本发明提高了产品的高纯度，缩短了熔融时间，型材为透明状，无气泡气线等杂质。

主权项

一种电熔单炉法大尺寸超厚透明石英型材的制造方法，其特征在于：具体步骤是：(1)先将保温砂装入炉体保温层；(2)将石墨导电单棒装入电熔炉内，并居于中间位置；(3)将高纯度水晶砂，硅含量≥99.998％，目数为60‑160目的水晶砂原料，装入电熔炉内；(4)然后密封电熔炉炉盖，开始抽排炉内空气；(5)对石墨导电单棒通电，连续抽排真空，使炉内真空度稳定在2×10‑3‑5×10‑3pa之内；(6)通电熔融时间5小时；水晶砂在石墨导电棒的直接高温焙烧下，逐渐熔融成液体；熔融料形成的气体杂质被真空泵不断排出炉外；(7)停止供电和抽排真空后，要等到炉内真空压力恢复到常压以后，再直接将炉盖打开，熔融石英料成型为Φ600‑800mm圆坨状石英料；(8)在自然状态下，圆坨状石英料的表面温度冷却至800‑100℃，将圆坨状石英料用传送机械传送到压力机下；开启压力机，圆坨状石英料在压力作用下，挤压成长方形石英块，控制厚度为300‑500mm，长度为1600‑1800mm；(9)待冷却至室温后，清理石英块外层保温砂，进行机械切割，厚度为300‑500mm，长度为1600‑1800mm；对切割后石英块进行打磨和抛光，形成超厚透明石英型材。