发明名称 自动定心基座环组件
摘要 提供了自动定心基座环组件。该基座环组件包括基座环支撑构件和支撑在该基座环支撑构件上的基座环。该基座环支撑构件包括至少三个相对于该反应室的下方内表面向上延伸的销。该基座环包括至少三个制动器,所述制动器形成于底面中以容纳来自该基座环支撑构件的销。该制动器被构造为当该基座环热膨胀和收缩时允许该销在其内滑动,其中该制动器的大小和形状为使得当该基座环热膨胀和收缩时,在该基座环和位于该基座环缝隙内的基座之间的空隙围绕该基座的整个圆周基本上保持一致,从而保持相同的中心轴线。
申请公布号 CN102197471A 申请公布日期 2011.09.21
申请号 CN200980142674.2 申请日期 2009.10.05
申请人 ASM美国公司 发明人 R·阿加沃尔;R·C·哈罗
分类号 H01L21/683(2006.01)I;H01L21/687(2006.01)I 主分类号 H01L21/683(2006.01)I
代理机构 北京纪凯知识产权代理有限公司 11245 代理人 赵蓉民
主权项 一种自动定心基座环组件,包括:基座环支撑构件和至少三个从所述基座环支撑构件延伸的销;和可支撑在所述基座环支撑构件上的基座环,所述基座环包括至少三个成形于所述基座环底面中的制动器和具有中心点的缝隙,其中所述制动器各自容纳所述至少三个销中的一个;其中所述基座环和所述基座环支撑构件的热膨胀和收缩导致所述销在所述制动器内滑动,使得在所述基座环的热膨胀和收缩期间,形成所述缝隙的边缘基本上保持围绕所述缝隙的所述中心点为中心。
地址 美国亚利桑那州