发明名称 ALUMINUM NITRIDE SINGLE CRYSTAL FILM, ALUMINUM NITRIDE SINGLE CRYSTAL LAMINATED SUBSTRATE AND PROCESSES FOR PRODUCTION OF BOTH
摘要
申请公布号 EP1918429(A4) 申请公布日期 2011.09.21
申请号 EP20060768428 申请日期 2006.08.01
申请人 TOKUYAMA CORPORATION;TOHOKU UNIVERSITY 发明人 FUKUYAMA, HIROYUKI;TAKADA, KAZUYA;HAKOMORI, AKIRA
分类号 C30B29/40;C30B25/02 主分类号 C30B29/40
代理机构 代理人
主权项
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