| 发明名称 | 压电器件及液体喷头 | ||
| 摘要 | 提供一种高性能压电器件，具有良好的耐湿性，可有效防止水分向压电膜进入。上述压电器件的特征在于包括：基板；第一电极，成膜在上述基板上；压电膜，通过气相生长法成膜在上述第一电极上的至少一部分；第二电极，成膜在上述压电膜上，该第二电极的水蒸气透过率在1g/m2/day以下；以及至少一层的保护膜，至少覆盖上述第二电极及上述压电膜的周缘部，且在与除了上述周缘部以外的上述压电膜对应的位置具有开口。 | ||
| 申请公布号 | CN101399310B | 申请公布日期 | 2011.09.21 |
| 申请号 | CN200810168097.1 | 申请日期 | 2008.09.27 |
| 申请人 | 富士胶片株式会社 | 发明人 | 菱沼庆一;望月文彦 |
| 分类号 | H01L41/08(2006.01)I;H01L41/09(2006.01)I;B41J2/14(2006.01)I | 主分类号 | H01L41/08(2006.01)I |
| 代理机构 | 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 | 代理人 | 陆锦华;关兆辉 |
| 主权项 | 一种压电器件，其特征在于，包括：基板；第一电极，成膜在上述基板上；压电膜，通过气相生长法成膜在上述第一电极上的至少一部分；第二电极，成膜在上述压电膜上，包含Ti、Ir、Ta、Pd、Ru、Rh、及Os的至少一个，并具有100～1000nm的厚度，该第二电极的水蒸气透过率在1g/m2/day以下；以及至少一层的保护膜，至少覆盖上述第二电极及上述压电膜的周缘部，且在与除了上述周缘部以外的上述压电膜对应的位置具有开口。 | ||
| 地址 | 日本东京 | ||