压电元件、压电传感器、电子设备及压电元件的制造方法

摘要

本发明提供一种压电元件、压电传感器、电子设备及压电元件的制造方法。压电元件包括：支撑体，具有能够沿厚度方向变位的变位部；下部电极层，形成在上述支撑体上，在平面图中，具有设置在所述变位部内的下部电极主体部以及与所述下部电极主体部连接并跨到外侧区域地设置的下部电极丝部；第一压电体层，在所述平面图中，在所述变位部内形成在所述下部电极主体部上；上部电极层，在所述平面图中，形成为跨到外侧区域，并且至少一部分层压在所述第一压电体层上且与所述下部电极层绝缘；以及第二压电体层，在所述支撑体上覆盖所述下部电极丝部的至少一部分地形成。

主权项

一种压电元件，其特征在于，包括：支撑体，具有能够沿厚度方向变位的变位部；下部电极层，在从所述变位部的厚度方向观察所述支撑体的平面图中，所述下部电极层在所述支撑体上具有设置在所述变位部的外周边缘的内侧区域的下部电极主体部以及与所述下部电极主体部连接并从所述变位部的外周边缘的内侧区域跨到外侧区域设置的下部电极丝部；第一压电体层，在所述平面图中，在所述变位部的外周边缘的内侧区域中设置在所述下部电极主体部上；上部电极层，在所述平面图中，从所述变位部的外周边缘的内侧区域跨到外侧区域，所述上部电极层的至少一部分层压在所述第一压电体层上且与所述下部电极层绝缘；以及第二压电体层，被设置为在所述支撑体上覆盖所述下部电极丝部的至少一部分。