发明名称 |
用于柔性电路的抗应力微导孔结构 |
摘要 |
本发明名称为用于柔性电路的抗应力微导孔结构。一种芯片封装(20)被公开,其包括具有在其顶表面形成的多个裸芯焊盘(14)的电子芯片(10),以及通过粘合层(23)位于其上的聚酰亚胺柔性层(22),多个导孔(24)对应裸芯焊盘(14)穿过聚酰亚胺柔性层(22)以及粘合层(23)形成。多个金属互连(28)在聚酰亚胺柔性层(22)上形成,每一个具有覆盖聚酰亚胺柔性层(22)的顶表面(30)的一部分的盖焊盘(31)、从盖焊盘(31)延伸下去且沿着导孔周长穿过导孔(24)的侧壁(36)、以及与侧壁(36)连接并且与相应裸芯焊盘(14)形成电连接的基底(34)。基底(34)以及侧壁(36)的每个形成为具有等于或者大于粘合层(23)的厚度的厚度。 |
申请公布号 |
CN102194776A |
申请公布日期 |
2011.09.21 |
申请号 |
CN201110059659.0 |
申请日期 |
2011.03.02 |
申请人 |
通用电气公司 |
发明人 |
T·B·戈尔奇卡;R·J·赛亚;P·A·麦康奈尔 |
分类号 |
H01L23/48(2006.01)I;H01L23/522(2006.01)I;H01L23/528(2006.01)I;H01L21/768(2006.01)I;H01L21/60(2006.01)I |
主分类号 |
H01L23/48(2006.01)I |
代理机构 |
中国专利代理(香港)有限公司 72001 |
代理人 |
朱海煜;王忠忠 |
主权项 |
一种芯片封装(20)包括:具有在其顶表面上形成的多个裸芯焊盘的电子芯片(10);位于电子芯片(10)上的聚酰亚胺柔性层(22),所述聚酰亚胺柔性层(22)具有在其中形成的多个导孔(24)使得所述多个导孔(24)的每一个对应相应裸芯焊盘(14);沉积在电子芯片(10)和聚酰亚胺柔性层(22)之间的粘合层(23);以及在聚酰亚胺柔性层(22)上形成的多个金属互连(28),所述多个金属互连(28)的每一个包括:覆盖聚酰亚胺柔性层(22)的顶表面(30)的一部分的盖焊盘(31);从盖焊盘(31)向下延伸且沿着导孔周长穿过导孔(24)的侧壁(36);以及与侧壁(36)连接并且与相应裸芯焊盘(14)形成电连接的基底(34);其中所述基底以及侧壁的每个的厚度等于或者大于所述粘合层(23)的厚度。 |
地址 |
美国纽约州 |