具有预检测功能的涂层设备

摘要

本实用新型公开了一种具有预检测功能的涂层设备，其包括靶材挡板门开关测试模块，转盘转动测试模块，短路测试模块，点火针点火测试模块和靶材阴极测试模块。本实用新型通过采用程序控制预检测技术，在开始涂层工艺前对在工艺过程中需要运行的主要环节的参数预先做检测，以此来保证每次工艺的顺利运行，控制工艺过程中的出错，从而保证整个涂层工艺的顺利进行。

主权项

一种具有预检测功能的涂层设备，其特征在于，包括：靶材挡板门开关测试模块，用于通过判断挡板门感应开关信号的通断，以预先检测挡板门开关是否正常，包括与CPU连接的挡板门开关测试输入模块和挡板门开关测试输出模块；转盘转动测试模块，用于通过判断转盘转动感应开关信号的通断，以预先检测转盘转动是否正常，包括与CPU连接的转盘转动测试输入模块和转盘转动测试输出模块；短路测试模块，用于通过判断偏压发生器电流互感器的电流信号，以预先检测涂层过程中偏压器使用是否正常以及待涂层工件与所述涂层设备是否绝缘良好，包括与CPU连接的短路测试输入模块和短路测试输出模块；点火针点火测试模块，用于通过判断点火装置的电流信号的通断，以检测点火针工作是否正常，包括与CPU连接的点火针点火测试输入模块和点火针点火测试输出模块；靶材阴极测试模块，用于通过判断靶材阴极装置电流互感器的电流信号的通断，以预先检测电弧发生器工作是否正常，包括与CPU连接的靶材阴极测试输入模块和靶材阴极测试输出模块。