SAW-MEMS加速度传感器及制作方法

摘要

本发明公开了SAW-MEMS加速度传感器，涉及微电子惯性器件领域，加速度传感器包括SAW金属叉指换能器、带有悬臂微梁的水晶片以及预设沟槽的硅基片，SAW金属插指换能器制作于水晶片内的悬臂微梁上，悬臂微梁键合在预设沟槽的硅基片上，水晶片先与另一片无沟槽硅基片通过键合，减薄后再通过键合工艺转移至预设沟槽的硅基片上；在水晶片上与预设沟槽相应的位置制作SAW插指换能器，并在水晶片上刻蚀出悬臂微梁结构，使SAW插指换能器在悬臂微梁上。所述加速度传感器采用MEMS工艺，器件尺寸小，适合批量生产；因此本发明提供的加速度传感器可靠性高、敏感范围大、功耗小、精度高、小尺寸且易于封装。

主权项

SAW‑MEMS加速度传感器，其特征在于：包括SAW金属叉指换能器、悬臂微梁、水晶片、预设沟槽硅基片；所述悬臂微梁支撑端固定设置于水晶片上，所述悬臂微梁自由端悬空设置于预设沟槽硅基片的预设沟槽上方，所述SAW金属插指换能器设置于悬臂微梁上表面悬臂端，所述悬臂微梁下表面对应预设沟槽硅基片的预设沟槽，所述悬臂微梁上表面设置有输入电极和输出电极，所述金属叉指换能器与输入电极和输出电极连接。