静电致动器及其驱动方法

摘要

本发明涉及静电致动器及其驱动方法。静电致动器包括彼此相对的固定电极和可动电极，并且在所述固定电极和所述可动电极之间放置有电介质层，所述方法包括以下步骤：在固定电极和可动电极之间施加第一电压，使可动电极与电介质层进行接触，并且，在第一电压的施加停止后并且在可动电极从电介质层移开之前，在固定电极和可动电极之间施加第二电压。第二电压的极性与第一电压的极性相反，并且第二电压的绝对值小于第一电压的绝对值。

主权项

一种用于驱动静电致动器的驱动方法，所述静电致动器包括彼此相对的固定电极和可动电极，并且在所述固定电极和所述可动电极之间放置有电介质层，所述方法包括以下步骤：在所述固定电极和所述可动电极之间施加第一电压，使所述可动电极与所述电介质层进行接触，并且在所述第一电压的施加停止后并且在所述可动电极从所述电介质层移开之前，在所述固定电极和所述可动电极之间施加第二电压，所述第二电压的极性与所述第一电压的极性相反，并且所述第二电压的绝对值小于所述第一电压的绝对值。