弹性表面波雾化装置

摘要

一种弹性表面波雾化装置，能够通过简单的构成将液体以一定量为单位稳定地供给至基板表面的雾化区域，并且能限制基板表面上的液体的分布，能够实现稳定高效的雾化以及抑制叉指电极等的劣化。本装置(1)具有在表面(S)设有图案电极(2)的压电基板(3)、向表面(S)供给液体(M)的液体供给部件(4)，利用弹性表面波(W)将被供给到表面(S)的液体(M)雾化，在液体供给部件(4)与压电基板(3)的表面(S)之间的部件间，在期望保持并诱导液体(M)的区域(A1)设置微小缝隙(11)，在不期望供给液体(M)的区域(A2)设置较大缝隙(12)，利用因缝隙的大小而形成的表面张力差将液体(M)供给至雾化区域(30)，该雾化区域(30)位于压电基板(3)的表面(S)上与图案电极(2)分离的区域。能够利用微小缝隙(11)稳定地供给液体(M)，能够利用较大缝隙(12)限制液体(M)的分布。

主权项

一种弹性表面波雾化装置，具备压电基板和液体供给机构，其中，所述压电基板在表面具有通过施加高频电压而激励弹性表面波的图案电极，所述液体供给机构向所述压电基板的表面供给液体，该弹性表面波雾化装置利用在所述表面生成的弹性表面波将被所述液体供给机构供给到所述压电基板的表面的液体雾化，该弹性表面波雾化装置的特征在于，所述液体供给机构具有与所述压电基板的表面对置配置的液体供给部件，在所述液体供给部件与所述压电基板的表面之间的部件间，在期望保持并诱导液体的区域设置微小缝隙，在不期望供给液体的区域设置比所述微小缝隙大的缝隙，利用因所述部件间缝隙的大小而形成的液体的表面张力差将液体供给至雾化区域，所述雾化区域位于所述压电基板的表面上的与所述图案电极分离的区域。