皮尔斯电子枪的电子束聚焦的控制方法及控制装置

摘要

皮尔斯电子枪的电子束聚焦的控制中，消除电子枪内部的空间电荷效应及空间电荷中和作用的影响，使电子束的控制完善。通过直接测定上述皮尔斯电子枪内部温度，来反馈控制电子枪内部的压力。直接测定上述皮尔斯电子枪的内部温度的位置，优选阴极(39)、流体调节器(43)。其次，也可以是设置在阴极室(31)、中间室、摆动室(33)的任一者的出口或入口处的环、光阑、排气筒中任一个。据此，产生束的部分的稳定性(电子枪自身的最优化设计)、束输送部的稳定性及束使用部的稳定性都变得良好。

主权项

一种皮尔斯电子枪的控制方法，该控制方法直接测定皮尔斯电子枪的内部温度，其特征在于，直接测定的位置是：(a)阳极和流体调节器，或者(b)设置在阴极室、中间室、摆动室中任一者的出口或入口处的环、光阑、排气筒中的任一个。