制造太阳能电池的图案化组件及其方法

摘要

所揭示的是制造太阳能电池的装置及其方法。在具体实施例中，太阳能电池可按照以下步骤来制造：将太阳能电池配置在具有粒子源的处理室中；将图案化组件配置在粒子源与太阳能电池之间，其中此图案化组件包括孔径与组件段；以及选择性地将穿过孔径的第一类型掺质植入太阳能电池的第一区域，其间引进第一区域之外的区域的第一类型掺质被最小化。

主权项

一种制造太阳能电池的方法，包括：将太阳能电池配置在具有粒子源的处理室中；将图案化组件配置在所述粒子源与所述太阳能电池之间，其中所述图案化组件包括孔径与组件段；以及选择性地将穿过所述孔径的第一类型掺质植入所述太阳能电池的第一区域，其间引进所述第一区域之外的区域的所述第一类型掺质被最小化。