转台动态指标的激光干涉检测法及检测系统

摘要

转台动态指标的激光干涉检测法，其采用激光干涉的原理对转台在角度摆动或角振动时的角度位置连续变化进行实时动态的采集和测量；在激光器和角度反射镜之间的光路中放置角度干涉镜，激光束被角度干涉镜中的分光镜一分为二，一部分光束直接通过干涉镜，并从具有角度摆动的角度反射镜的一半反射回激光器，另一条光束通过角度干涉镜的角度分光镜，传到角度反射镜的另一半，角度反射镜使光束通过干涉镜返回到激光器，两条测量光束之间形成光程差；光程差的变化由激光器中的光栅计数器进行计数，再经计算机处理转换成角度动态测量值或者动态角度误差。本发明检测精度高、检测的采样率高、完全能够符合量值传递要求，并且可溯源至国家基准。本发明就是使用主要用于检测数控机床和三坐标测量机的激光干涉仪，对转台动态性能指标进行检测。

主权项

转台动态指标的激光干涉检测法，其特征是采用激光干涉的原理对转台在角度摆动或角振动时的角度位置连续变化进行实时动态的采集和测量；在激光器和角度反射镜之间的光路中放置角度干涉镜，激光束被角度干涉镜中的分光镜一分为二，一部分光束直接通过干涉镜，并从具有角度摆动的角度反射镜的一半反射回激光器，另一条光束通过角度干涉镜的角度分光镜，传到角度反射镜的另一半，角度反射镜使光束通过干涉镜返回到激光器，两条测量光束之间形成光程差；光程差的变化由激光器中的光栅计数器进行计数，再经计算机处理转换成角度动态测量值或者动态角度误差。